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激光干涉儀原理特點(diǎn)
2023-01-16 一、激光干涉儀，以激光波長為已知長度，利用邁克耳遜干涉系統(tǒng)測量位移的通用長度測量。二、激光具有高強(qiáng)度、高度方向性、空間同調(diào)性、窄帶寬和高度單色性等優(yōu)點(diǎn)。目前常用來測量長度的干涉儀，主要是以邁克爾遜干涉儀為主，并以穩(wěn)頻氦氖激光為光源，構(gòu)成一個具有干涉作用的測量系統(tǒng)。激光干涉儀可配合各種折射鏡、反射鏡等來作線性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等測量工作，并可作為精密工具機(jī)或測量儀器的校正工作。三、位置精度的檢測及其自動補(bǔ)償可檢測數(shù)控機(jī)床定位精度、重復(fù)定位精度、微量...
激光干涉儀快速檢測三坐標(biāo)測量機(jī)垂直度
2022-12-28 三坐標(biāo)測量機(jī)測量精度高、效率高，廣泛應(yīng)用在精密加工檢測領(lǐng)域。它與數(shù)控機(jī)床是保證工件測量與加工精度的關(guān)鍵設(shè)備。其中作為高精度的測量基準(zhǔn)，幾何誤差的快速、高精度檢測技術(shù)都是三坐標(biāo)測量機(jī)性能提升的關(guān)鍵。三坐標(biāo)測量機(jī)運(yùn)行速度的加快，動態(tài)誤差往往會比靜態(tài)/準(zhǔn)靜態(tài)誤差對測量精度影響更大。特別在高速測量過程中，產(chǎn)生的自激振動和受迫振動，都會產(chǎn)生動態(tài)誤差。激光干涉儀是常用的機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)幾何誤差檢測的手段。其中垂直度測量是通過比較正交軸的直線度值從而確定正交軸的非直角度。三坐標(biāo)測量機(jī)的垂...
白光干涉儀3D形貌測量之美
2022-12-28 白光干涉儀能測什么？有著“納米眼”之稱的白光干涉儀，是一款在縱向分辨率上可實(shí)現(xiàn)0.1nm的分辨率和測量可靠性的光學(xué)測量儀器。下面就讓我們一起來領(lǐng)略下國產(chǎn)白光干涉儀鏡頭下的3D顯微之美。SuperViewW1白光干涉儀白光干涉儀采用的光學(xué)輪廓測量法可以非接觸式測量非平坦樣品，輕松測量出彎曲和其他非平面表面，還可以測出曲面的表面光潔度、紋理和粗糙度等，同時不會像探針是輪廓儀那樣損壞薄膜。白光干涉儀3D形貌圖片：圖1.超光滑_納米級表面圖2.分成了32階的納米級微納光學(xué)元件圖3.半...
激光跟蹤儀的使用可少不了以下要領(lǐng)
2022-12-26 激光跟蹤儀是一種空間大尺寸三維坐標(biāo)精密測量的先進(jìn)幾何量儀器，不僅可以對靜止的空間目標(biāo)進(jìn)行高精度三維測量，還可以對運(yùn)動的目標(biāo)進(jìn)行跟蹤測量，是大尺寸精密測量的主要手段。系統(tǒng)由PC、控制主機(jī)、跟蹤站、目標(biāo)鏡等組成。激光跟蹤儀集合了精密機(jī)械技術(shù)、計(jì)算機(jī)及控制技術(shù)、激光干涉測距技術(shù)、光電探測技術(shù)、現(xiàn)代數(shù)值計(jì)算理論等各種先進(jìn)技術(shù)，對空間運(yùn)動目標(biāo)進(jìn)行跟蹤并實(shí)時測量目標(biāo)的空間三維坐標(biāo)。它具有高精度、高效率、實(shí)時跟蹤測量、安裝快捷、操作簡便等特點(diǎn)，適合于大尺寸工件配裝測量。激光跟蹤測量系統(tǒng)的工...
3d輪廓掃描儀竟然有如此性能特點(diǎn)？
2022-12-20 3d輪廓掃描儀是一款集成表面粗糙度和輪廓測量的測量儀器，采用進(jìn)口高精度光柵測量系統(tǒng)建立工件表面輪廓的二維坐標(biāo)，計(jì)算機(jī)通過修正算法對光柵數(shù)據(jù)進(jìn)行修正，終還原出工件輪廓信息、粗糙度信息并以曲線圖顯示出來，通過軟件提供的分析工具可對輪廓、粗糙度進(jìn)行各種參數(shù)分析。3d輪廓掃描儀高精度、高穩(wěn)定性、高重復(fù)性，滿足被測件測量精度要求。選用高精度光柵測量系統(tǒng)和高精度電感測量系統(tǒng)，測量精度高；自主研發(fā)高精度研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)，導(dǎo)軌材料耐磨性好、保證系統(tǒng)穩(wěn)定可靠工作；高性能直線電機(jī)驅(qū)動系統(tǒng)，保證測量穩(wěn)...
重在品質(zhì)，工于裝備！激光跟蹤儀應(yīng)用系列-工程機(jī)械部件檢測
2022-12-19 工程機(jī)械作為工程建設(shè)中的重要工具，施工過程中長期承受各種外力，因此對各結(jié)構(gòu)件質(zhì)量要求很高，檢測十分嚴(yán)格，通常要求的公差在0.1mm～0.2mm以內(nèi)。工程機(jī)械部件外形尺寸及重量通常較大，常規(guī)儀器無法有效滿足檢測需求，GTS激光跟蹤儀作為大尺寸空間精密測量儀器，空間測量精度以微米計(jì)，且測量范圍可達(dá)160m，能為工程機(jī)械制造提供精準(zhǔn)的測量保障。激光跟蹤儀采用球坐標(biāo)系測量系統(tǒng)，測量時，操作者手持測量靶球，激光跟蹤儀射出一道激光主動跟蹤測量靶球，在操作者將靶球接觸待測工件表面時，激光跟...
白光3D輪廓測量儀適配芯片制造生產(chǎn)線，助力半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展
2022-12-19 近年來，面對持續(xù)高漲的芯片需求，半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)迎來了高難度挑戰(zhàn)——對芯片工藝要求更精細(xì)，從5nm到3nm，甚至是2nm。“先進(jìn)封裝”的提出，是對技術(shù)的新要求，也是對封裝工藝中材料和設(shè)備的全新考驗(yàn)。芯片身上布控著幾千萬根晶體管，而晶體管越小，可放置的晶體管越多，性能也將越高。芯片的進(jìn)化就是晶體管變小的過程。晶體管密度更大、占用空間更少、性能更高、功率更低，但挑戰(zhàn)也越來越難以克服。小尺寸下，芯片物理瓶頸越來越難以克服。尤其在近幾年，先進(jìn)節(jié)點(diǎn)走向10nm、7nm、5nm.........
數(shù)控機(jī)床檢測技術(shù)之激光干涉儀角度測量
2022-12-12 目前，在幾何量測量中最重要的激光技術(shù)是用廣電轉(zhuǎn)換條紋計(jì)數(shù)等方法來測量長度，這種方法具有精度高、速度快、量程大、始于非接觸測量及自動測量等優(yōu)點(diǎn)。基于激光干涉儀技術(shù)的精密角度測量系統(tǒng)，通過角度轉(zhuǎn)換裝置將角度量轉(zhuǎn)換為可以反映干涉光路中光程差變化的線性位移量，由此引起干涉條紋的變化，再通過相應(yīng)電路對干涉條紋進(jìn)行一系列處理，從而實(shí)現(xiàn)了對大轉(zhuǎn)角的精密測量。具有結(jié)構(gòu)簡單、誤差恒定、測量精度高、測角范圍大、易于數(shù)字化等特點(diǎn)。激光干涉儀利用激光作為長度基準(zhǔn)，可以對數(shù)控設(shè)備（加工中心、三坐標(biāo)測量...

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