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SJ6000精密激光干涉機(jī)床測量儀具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

PLR3000高靈敏度光纖激光尺是新一代高精度位置檢測設(shè)備，基于激光干涉測量原理，專為超精密加工、微電子制造、光刻技術(shù)、航空航天等高要求領(lǐng)域設(shè)計。其突破性技術(shù)融合高穩(wěn)定性氦氖激光光源與保偏光纖傳輸，支持單軸至多軸測量。

?PLR3000高穩(wěn)頻精度光纖激光尺可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置，用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭，滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。

PLR3000系列光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源，激光通過保偏光纖引導(dǎo)，用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置，最大限度減小阿貝誤差。可根據(jù)用戶需求，配置單軸、雙軸以及三軸輸出，輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。

SJ6000國產(chǎn)高精度激光干涉儀非接觸式、高精度的特點使其適用于各種復(fù)雜的運動系統(tǒng)，不僅僅局限于運動導(dǎo)軌，還可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。

SJ6000機(jī)床精度激光干涉校準(zhǔn)儀可以檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等。幫助企業(yè)提高設(shè)備性能，減少維護(hù)成本和停機(jī)時間，為制造業(yè)提供了一種精密的測量檢測方式。