中圖儀器SJ6000長距離高精度長度激光干涉測量儀集光、機(jī)、電、計(jì)算機(jī)等技術(shù)于一體，利用激光干涉現(xiàn)象來實(shí)現(xiàn)非接觸式測量，具有高精度、高分辨率、快速測量等優(yōu)點(diǎn)。

SJ6000長距離高精度長度激光干涉測量儀結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。在SJ6000激光干涉儀動態(tài)測量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測，以及進(jìn)行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

產(chǎn)品配置

SJ6000激光干涉儀系統(tǒng)具有豐富的模塊化組件，可根據(jù)具體測量需求而選擇不同的組件。主要鏡組如下圖所列，依次為線性鏡組、角度鏡組、直線度鏡組、垂直度鏡組、平面度鏡組、自動精密轉(zhuǎn)臺。

主要鏡組圖

其中，線性鏡組為標(biāo)配，由線性干涉鏡、線性反射鏡和夾緊孔座構(gòu)成。可滿足線性位移設(shè)備的定位精度、重復(fù)定位精度、反向間隙的測量與分析，以及反向間隙修正和螺距補(bǔ)償。

產(chǎn)品功能

（1）可實(shí)現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉(zhuǎn)軸等幾何參量的高精密測量；

（2）可檢測數(shù)控機(jī)床、三坐標(biāo)測量機(jī)等精密運(yùn)動設(shè)備其導(dǎo)軌的線性定位精度、重復(fù)定位精度等，以及導(dǎo)軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

（3）可實(shí)現(xiàn)對機(jī)床回轉(zhuǎn)軸的測量與校準(zhǔn)；

（4）可根據(jù)用戶設(shè)定的補(bǔ)償方式自動生成誤差補(bǔ)償表，為設(shè)備誤差修正提供依據(jù)；

（5）具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進(jìn)行振動分析、絲桿導(dǎo)軌的動態(tài)特性分析、驅(qū)動系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等；

（6）支持手動或自動進(jìn)行環(huán)境補(bǔ)償。

在機(jī)床領(lǐng)域中的應(yīng)用

1.測量機(jī)床導(dǎo)軌的直線度和平行度。

導(dǎo)軌是機(jī)床中的重要零部件，直線度和平行度的誤差會直接影響機(jī)床的加工精度和穩(wěn)定性。激光干涉儀可以通過測量導(dǎo)軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差，從而指導(dǎo)后續(xù)的優(yōu)化和調(diào)整。

2.測量機(jī)床工作臺的平面度和垂直度。

機(jī)床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質(zhì)量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋，可以快速發(fā)現(xiàn)工作臺的不平整和非垂直狀態(tài)，并及時(shí)進(jìn)行調(diào)整和修正，確保工件的加工精度和穩(wěn)定性。

3.測量機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度。

機(jī)床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機(jī)床加工精度的關(guān)鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋，可以準(zhǔn)確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達(dá)到標(biāo)準(zhǔn)要求，從而為后續(xù)的機(jī)床調(diào)整和校準(zhǔn)提供依據(jù)。

4.其它

除了上述應(yīng)用，激光干涉儀還可以用于測量機(jī)床各個部件之間的相對位置和尺寸關(guān)系，從而檢測和糾正機(jī)床的裝配誤差。此外，激光干涉儀還可以用于檢測機(jī)床在運(yùn)行過程中的變形和振動情況，及時(shí)發(fā)現(xiàn)機(jī)床的故障和異常狀態(tài)，保證機(jī)床的穩(wěn)定性和可靠性。

對數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償

在計(jì)量檢定領(lǐng)域的應(yīng)用

1、測長機(jī)檢定

傳統(tǒng)的測長機(jī)示值誤差主要采用量塊進(jìn)行校準(zhǔn)，受環(huán)境因素影響較大，校準(zhǔn)條件要求高，且量程大于1m的測長機(jī)需要分段校準(zhǔn)，效率低，而使用激光干涉儀進(jìn)行校準(zhǔn)，不僅可以提高效率，還可通過環(huán)境補(bǔ)償單元對空氣溫度、壓力、濕度和材料溫度進(jìn)行補(bǔ)償，提高校準(zhǔn)精度。

2、三坐標(biāo)測量機(jī)示值誤差測量

隨著三坐標(biāo)測量機(jī)技術(shù)的更新和發(fā)展，使用傳統(tǒng)的量塊、球板等已經(jīng)難以滿足大型三坐標(biāo)測量機(jī)的檢測要求，激光干涉儀測量準(zhǔn)確度高，測量范圍大，測量數(shù)據(jù)豐富，適合測量三坐標(biāo)各項(xiàng)幾何誤差。

3、位移傳感器檢定

利用激光干涉儀對位移傳感器檢定成為發(fā)展趨勢,其特點(diǎn)是測量精度高、反應(yīng)速度快、易于數(shù)字化測量。在測量中設(shè)計(jì)一個精密導(dǎo)軌,將反射鏡同被測傳感器放在一起同步檢測,從而形成對比，位移傳感器自動檢定系統(tǒng)與SJ6000激光干涉儀(標(biāo)準(zhǔn))對定長位移進(jìn)行測試對比,得出往復(fù)測試實(shí)驗(yàn)結(jié)果。

4、影像儀定位精度測量

影像儀傳統(tǒng)檢測方法采用線紋尺比對法進(jìn)行，存在著檢測精度低、測量系統(tǒng)誤差大、成因分析功能缺失、改善方向不精準(zhǔn)、 檢測效率低下等問題。使用激光干涉儀可以對影像儀的定位誤差進(jìn)行快速檢測，對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行運(yùn)算分析，利用軟件生產(chǎn)補(bǔ)償文件快速實(shí)施二維平面多點(diǎn)位補(bǔ)償，可大大降低設(shè)備制造過程中的精度檢測難度、提升檢測效率及補(bǔ)償效率。