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當前位置:首頁產品中心激光測量儀激光干涉儀SJ6000機床校準激光干涉儀
機床校準激光干涉儀

產品簡介

中圖儀器SJ6000機床校準激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

產品型號:SJ6000
更新時間:2025-04-07
廠商性質:生產廠家
訪問量:945
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中圖儀器SJ6000機床校準激光干涉儀是一種能夠測量機床精度的高精度測量裝置。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優點,結合不同的光學鏡組,可實現線性測長、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測量。

機床校準激光干涉儀

它利用激光干涉現象來實現非接觸式測量,具有高精度、高分辨率、快速測量等優點,在機床加工領域有著廣泛的應用。在SJ6000激光干涉儀動態測量軟件配合下,還可實現線性位移、角度和直線度的動態測量與性能檢測,以及進行位移、速度、加速度、振幅與頻率的動態分析,如振動分析、絲桿導軌的動態特性分析、驅動系統的響應特性分析等。


測量原理

SJ6000機床校準激光干涉儀的測量原理主要包括相位測量和位移測量。相位測量是通過測量干涉條紋的相位差來計算被測量物體的形狀、位置等參數;位移測量是通過測量干涉條紋的位移來確定物體的位移量。這兩種測量原理在不同應用場景下有著各自的優勢和適用性。


產品優勢

1、激光干涉儀具有非常高的測量精度和重復性。

2、激光干涉儀可以實現非接觸式測量,不會對被測量物體造成損傷。

3、激光干涉儀具有實時性測量能力,能夠同時測量多個位置或參數,提高測量效率。


產品應用

1.測量機床導軌的直線度和平行度。

機床校準激光干涉儀

導軌是機床中的重要零部件,直線度和平行度的誤差會直接影響機床的加工精度和穩定性。激光干涉儀可以通過測量導軌上的干涉條紋來確定其直線度和平行度的偏差,從而指導后續的優化和調整。

2.測量機床工作臺的平面度和垂直度。

機床校準激光干涉儀

機床工作臺的平面度和垂直度直接影響工件的加工精度和質量。通過激光干涉儀測量工作臺上的干涉條紋,可以快速發現工作臺的不平整和非垂直狀態,并及時進行調整和修正,確保工件的加工精度和穩定性。

3.測量機床主軸的同心度和軸向垂直度。

機床校準激光干涉儀

機床主軸的同心度和軸向垂直度是決定機床加工精度的關鍵因素。通過激光干涉儀測量主軸上的干涉條紋,可以準確判斷主軸的同心度和軸向垂直度是否達到標準要求,從而為后續的機床調整和校準提供依據。

4.其它

除了上述應用,激光干涉儀還可以用于測量機床各個部件之間的相對位置和尺寸關系,從而檢測和糾正機床的裝配誤差。此外,激光干涉儀還可以用于檢測機床在運行過程中的變形和振動情況,及時發現機床的故障和異常狀態,保證機床的穩定性和可靠性。

機床校準激光干涉儀

對數控機床進行螺距誤差補償


部分技術規格

穩頻精度0.05ppm
動態采集頻率50 kHz
預熱時間≤ 6分鐘
工作溫度范圍(0~40)℃
存儲溫度范圍(-20~70)℃
環境濕度(0~95)%RH
線性測量距離(0~80)m (無需遠距離線性附件)
線性測量精度0.5ppm (0~40)℃
角度軸向量程(0~15)m
角度測量精度±(0.02%R+0.1+0.024M)″
平面度軸向量程(0~15)m
平面度測量精度±(0.2%R+0.02M2)μm (R為顯示值,單位:μm;M為測量距離,單位:m)
直線度軸向量程短距離(0.1~4.0)m;長距離(1.0~20.0)m
直線度測量精度短距離±(0.5+0.25%R+0.15M2) μm長距離±(5.0+2.5%R+0.015M2) μm
垂直度軸向量程短距離(0.1~3.0)m;長距離(1.0~15.0)m
垂直度測量精度短距離±(2.5+0.25%R+0.8M)μm/m;長距離±(2.5+2.5%R+0.08M)μm/m
注意事項:

平面度測量配置需求:平面度鏡組+角度鏡組

平行度測量配置需求:依據軸向量程范圍,選擇相應直線度鏡組即可

短垂直度測量(0.1~3.0)m配置需求:短直線度鏡組+垂直度鏡組

長垂直度測量(1.0~20.0)m配置需求:長直線度鏡組+垂直度鏡組

直線度附件:主要應用于Z軸的直線度測量和垂直度測量

懇請注意:因市場發展和產品開發的需要,本產品資料中有關內容可能會根據實際情況隨時更新或修改,恕不另行通知,不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息,請隨時聯系中圖儀器咨詢。




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