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3d白光干涉儀具有測量精度高、操作便捷、功能齊全、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精細器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

VT6000系列3d激光共聚焦顯微鏡整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成，控制單元集成在設備主機之內，亦可采用筆記本電腦驅動，實現了“拎著走”的便攜式設計；配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像，對細節的展現纖毫畢現。

臺階儀對測量工件的表面反光特性、材料種類、材料硬度都沒有特別要求，樣品適應面廣，數據復現性高、測量穩定、便捷、高效，是微觀表面測量中使用非常廣泛的微納樣品測量手段。作為一種接觸式表面形貌測量儀器，NS系列探針式國產臺階儀可以對微米和納米結構進行膜厚和薄膜高度、表面形貌、表面波紋和表面粗糙度等的測量。

VT6000中圖轉盤共聚焦顯微鏡具備表征微觀形貌的輪廓尺寸及粗糙度測量功能；自動拼接功能，能夠快速實現大區域的拼接縫合測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

CHOTEST中圖儀器SuperViewW1三維白光干涉表面形貌儀集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。測量范圍可從納米級粗糙度到毫米級的表面形貌，可以快速獲取被測工件表面三維形貌和數據進行檢測，可用于成品質量的管理，確保良品合格率。

3d共聚焦激光顯微鏡能夠清晰地展示微小物體的圖像形態細節，顯示出精細的細節圖像。它具有直觀測量的特點，能夠有效提高工作效率，更加快捷準確地完成日常任務。借助共聚焦顯微鏡，能有效提高工作效率，實現更準確的操作。