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NS系列磁吸式測針臺階儀臺階高度重復(fù)性能低于5A，Z0向測量量程可到1050um。最高垂直分辨率可達亞埃米級，且垂直方向動態(tài)比率高，可以獲取表面輪廓形貌、粗糙度、波紋度、形狀誤差及其它一些形貌特征等綜合信息。

CEM3000簡易操作臺式掃描電鏡外型緊湊，空間適用性強，整機采用大量的抗干擾設(shè)計，避免使用環(huán)境造成的影響，拓寬了應(yīng)用范圍。同時，該系列臺式電鏡具有非常豐富的自動調(diào)節(jié)功能，能夠?qū)Σ煌愋偷臉悠愤M行觀測，具有高空間分辨率。

CEM3000國產(chǎn)高性能掃描電鏡全系列電鏡均具有優(yōu)秀的抗干擾能力，憑借空間分辨率出色和易用性強，用戶能夠非常快捷地進行各項操作。甚至在自動程序的幫助下，無需過多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

VT6000微納三維形貌共聚焦顯微鏡通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量。主要應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)膜材、顯示行業(yè)、超精密加工等諸多領(lǐng)域中的微觀形貌和輪廓尺寸檢測中，其次是對表面粗糙度、面積、體積等參數(shù)的檢測中。

SuperViewW白光三維表面形貌儀測量單個精細器件的過程用時短，確保了高款率檢測。白光干涉儀的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細器件表面的測量。

不同于立式電鏡，CEM3000國產(chǎn)全自主高性能桌面掃描電鏡無需占據(jù)大量空間來容納整個電鏡系統(tǒng)，這使其甚至能夠出現(xiàn)在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現(xiàn)所得結(jié)果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內(nèi)大顯身手。