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VT6000國產白光共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。

中圖儀器掃描電子顯微電鏡品牌無需占據大量空間來容納整個電鏡系統，這使其甚至能夠出現在用戶日常工作的桌面上，在用戶手邊實時呈現所得結果。此外，該系列臺式電鏡也可以進入手套箱、車廂還是潛水器等狹小空間內大顯身手。即便在一些常規電鏡難以耐受的工作環境中，該系列臺式電鏡也能憑借抗振防磁技術，展現出色的性能。

CEM3000超高分辨率國產臺式掃描電鏡全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡，不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業應用能力，而且操作靈活和成像質量可靠，在現代制造業中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。

NS系列納米高精度臺階儀采用了線性可變差動電容傳感器LVDC，具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率，同時，其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術，使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

CEM3000能譜分析形貌觀察掃描電鏡全系列電鏡均具有優秀的抗干擾能力，特別是CEM3000B基于復合抗振手段，將掃描電鏡抗振性能提升到了新的高度。CEM3000系列臺式掃描電鏡，不僅擁有強大的抗振性能和高效的工業應用能力，而且操作靈活和成像質量可靠，在現代制造業中為用戶帶來突破性的檢測解決方案。

VT6000雙重防撞共聚焦顯微鏡通過系統軟件對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，并獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量。可測各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。